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磁控溅射二氧化硅薄膜的制备工艺

引用本文：	宗婉华,马振昌.磁控溅射二氧化硅薄膜的制备工艺[J].半导体情报,1994,31(6):29-33,39.

作者姓名：	宗婉华马振昌

摘要：
关键词：	磁控溅射二氧化硅薄膜砷化镓
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