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分步曝光机匹配的自动测试
引用本文:
张晓.分步曝光机匹配的自动测试[J].电子工业专用设备,1985(3).
作者姓名:
张晓
摘 要:
已设计出一套能使自动对准系统直接与晶片上的图象校准的测试掩模。该技术简化了整个生产线中机器和机器之间相互匹配的自动测量和控制。
本文献已被
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