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| 相移电子散斑干涉测量物面形状 | |
| 作者姓名： | 金峰 伍小平 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学，中国科学技术大学，中国科学技术大学 |
| 摘 要： | 本文提出了一种用于测量三维物体表面形状的新方案.利用电子散斑干涉仪,通过两次图像采集之间折射率变化,获得代表等高线的相关条纹图,应用相移技术,可以获得高精度的形状测量结果.文中还讨论了自制气体相移器原理及性能。 |
| 关 键 词： | 电子散斑干涉 相移 物面形状 ESPI |
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