| 小量程、高灵敏度微压力传感器的优化设计 |
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| 引用本文： | 种传波,李德胜,刘本东. 小量程、高灵敏度微压力传感器的优化设计[J]. 微细加工技术, 2007, 0(4): 50-53,64 |
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| 作者姓名： | 种传波 李德胜 刘本东 |
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| 作者单位： | 北京工业大学,机电学院,北京,100022 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 为了提高小量程微压力传感器的灵敏度,提出了一种新结构模型,通过理论分析,发现硅膜越薄,量程越小,灵敏度越高.并对此模型进行ANSYS应力仿真,发现在小量程负荷条件下,新结构模型应力峰值约为10.7 MPa,C 型硅杯应力峰值为2.25 MPa,E 型硅杯应力峰值为2.8 MPa,通过比较可以看出,优化后的模型提高了微型压力传感器的灵敏性,验证了此模型的合理性.这种优化设计方法对小量程、高灵敏度微型压力传感器的研制具有一定的参考价值.
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| 关 键 词： | 微压力传感器 小量程 高灵敏度 仿真 |
| 文章编号： | 1003-8213(2007)04-0050-04 |
| 修稿时间： | 2007-05-10 |
Optimum Design of a Micro-pressure Sensor with Low Scale and High Sensitivity |
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| CHONG Chuan-bo,LI De-sheng,LIU Ben-dong. Optimum Design of a Micro-pressure Sensor with Low Scale and High Sensitivity[J]. Microfabrication Technology, 2007, 0(4): 50-53,64 |
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| Authors: | CHONG Chuan-bo LI De-sheng LIU Ben-dong |
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