| 磁控溅射Cd1-xZnxTe多晶薄膜组分的可控生长 |
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| 引用本文： | 葛玉建,江锦春,邬云骅,潘健亮,王善力,褚君浩.磁控溅射Cd1-xZnxTe多晶薄膜组分的可控生长[J].人工晶体学报,2010,39(2):341-344. |
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| 作者姓名： | 葛玉建 江锦春 邬云骅 潘健亮 王善力 褚君浩 |
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| 作者单位： | 上海太阳能电池研究与发展中心,上海,201201;上海太阳能电池研究与发展中心,上海,201201;中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083 |
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| 基金项目： | 中国科学院太阳能行动计划项目，上海浦东科委种子基金 |
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| 摘 要： | 采用双靶位共溅射方法制备出组分可控的Cd1-xZnxTe薄膜样品,组分偏离小于0.13.采用XRD对不同生长温度制备的样品进行了结晶性分析,研究了薄膜结晶与生长温度的关系.采用AFM、SEM对样品进行了表面和界面分析,表明薄膜表面平整,界面清晰.对不同组分的Cd1-xZnxTe样品进行了透射光谱测量,得到了光学性质随组分的变化规律,并拟合得出了这些样品的带隙和组分.
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| 关 键 词： | Cd1-xZnxTe薄膜 磁控溅射 透射光谱 |
Composition Controllable Growth of Polycrystal Cd_(1-x)Zn_xTe Films by Magnetron Sputtering |
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| GE Yu-jian,JIANG Jin-chun,WU Yun-hua,PAN Jian-liang,WANG Shan-li,CHU Jun-hao.Composition Controllable Growth of Polycrystal Cd_(1-x)Zn_xTe Films by Magnetron Sputtering[J].Journal of Synthetic Crystals,2010,39(2):341-344. |
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| Authors: | GE Yu-jian JIANG Jin-chun WU Yun-hua PAN Jian-liang WANG Shan-li CHU Jun-hao |
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| Institution: | GE Yu-jian1,JIANG Jin-chun1,WU Yun-hua1,PAN Jian-liang1,WANG Shan-li1,CHU Jun-hao1,2 (1.Shanghai Center for Photovoltaics,Shanghai 201201,China,2.Shanghai Institute of Technical Physics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200083,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Cd1-xZnxTe films magnetron sputtering transmittion |
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