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| 低能电子显微方法的新进展 | |
| 引用本文： | 孙霞,丁泽军,吴自勤.低能电子显微方法的新进展[J].电子显微学报,2001,20(4):251-257. |
| 作者姓名： | 孙霞 丁泽军 吴自勤 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学天文与应用物理系, |
| 摘 要： | 本文综述入射电子在样品中的散射、二次电子的产生机制和低能电子逸出的能量阈值效应。在大能隙半导体或绝缘体中，低能电子的非弹性散射自由程显著大于金属，从而为纳米材料的表征提供了条件。综述了低能电子显微术（LEEM）、低能电子投影显微术、弹道电子发射显微术（BEEM）、光发射电子显微技术（PEEM）等低能电子显微方法，介绍了这些方法得到的许多结果。 |
| 关 键 词： | 弹性散射 非弹性散射 二次电子 能量阀值效应 低电子显微术 显微学 非弹性散射自由程 |
Recent developments of low energy electron microscopy |
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| Keywords: | |
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