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| 银镜反应制备纳米蛾眼减反结构法 | |
| 引用本文： | 董晓轩,申溯,陈林森.银镜反应制备纳米蛾眼减反结构法[J].光子学报,2014,43(7):722001. |
| 作者姓名： | 董晓轩 申溯 陈林森 |
| 作者单位： | 董晓轩:苏州大学 信息光学工程研究所，江苏 苏州 215006 申溯:苏州大学 信息光学工程研究所，江苏 苏州 215006 陈林森:苏州大学 信息光学工程研究所，江苏 苏州 215006 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金（No. 60907010）、 江苏省自然科学基金（No. 10KJA140048）和江苏省优势学科工程基金资助 |
| 摘 要： | 为了降低光学表面的菲涅耳反射,提出了一种制备仿生减反结构的方法.利用银镜反应并结合退火处理在硬性材质基底表面制备银纳米粒子,经反应离子刻蚀工艺,在基底表面形成一层纳米蛾眼减反结构.分析了周期分布和随机分布纳米蛾眼的光学特性,实验研究了退火参量和刻蚀参量对银纳米颗粒直径、密度以及高度的影响,并在硅和石英基底上分别制备了随机减反结构.测试结果表明:硅基平均反射率小于4.5%,双面石英基透过率达98.1%.理论和实验均表明:随机分布的纳米仿生蛾眼结构具有宽光谱、广视角和高减反特性,所提出的制备方法具有简便易行、低成本、大幅面等优点,在光电器件中具有良好的潜在应用前景. |
| 关 键 词： | 减反结构 蛾眼结构 银镜反应 反应离子刻蚀 反射率 |
| 收稿时间： | 2013/10/28 |
Fabrication of Moth eye Antireflection Nanostructure Through a Silver Mirror Reaction |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Antireflection structure Moth eye structure Silver mirror reaction Reactive ion etching Reflection |
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