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| 基于白光干涉彩色图像的微结构表面形貌测量 | |
| 引用本文： | 郭彤,李峰,倪连峰,陈津平,傅星,胡小唐. 基于白光干涉彩色图像的微结构表面形貌测量[J]. 光学学报, 2014, 34(2): 212003-134 |
| 作者姓名： | 郭彤 李峰 倪连峰 陈津平 傅星 胡小唐 |
| 作者单位： | 郭彤:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 李峰:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 倪连峰:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 陈津平:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 傅星:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 胡小唐:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金（91023022）、科技部国际合作与交流项目（2008DFA71610） |
| 摘 要： | 微结构的表面形貌会显著地影响微纳器件的使用性能及产品质量,是微纳测试领域的一个重要研究方面,利用白光干涉技术是测量物体表面形貌的一种常见方法。区别于常用的CCD黑白相机,使用CCD彩色相机采集白光干涉条纹的彩色图像,使获取的图像包含了R、G、B三个通道的信息。利用小波变换法分别求解出在不同扫描位置处R、G、B通道的相位信息,通过建立的评价函数,并结合最小二乘法可精确确定零光程差的位置,利用相对高度和零光程差位置的线性关系,进而得到物体的表面形貌。通过仿真以及实际测量由VLSI标准公司制造的标准台阶结构,验证了所提出方法的有效性。 |
| 关 键 词： | 测量 白光干涉 表面形貌 彩色图像 小波变换 微结构 |
| 收稿时间： | 2013-08-08 |
Microstructure Surface Topography Measurement Based on Color Images of White Light Interferometry |
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| Abstract: | |
| Keywords: | measurement white light interferometry surface topography color image wavelet transform microstructure |
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