|
|||||
|
|
| 频率扫描干涉仪漂移误差正反向扫描补偿法 | |
| 引用本文： | 陶龙,刘志刚,吕涛,邓忠文,龚海.频率扫描干涉仪漂移误差正反向扫描补偿法[J].光学学报,2014,34(2):212002-127. |
| 作者姓名： | 陶龙 刘志刚 吕涛 邓忠文 龚海 |
| 作者单位： | 陶龙:西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室, 陕西 西安 710049 刘志刚:西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室, 陕西 西安 710049 吕涛:西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室, 陕西 西安 710049 邓忠文:西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室, 陕西 西安 710049 龚海:西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室, 陕西 西安 710049 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金（50975225、50935006）、制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题(10zxzk05) |
| 摘 要： | 频率扫描干涉仪对测量过程中光程差的漂移非常敏感,目标镜的微小位移会被放大几千倍,使得测量结果严重失真,因此必须消除或减弱漂移误差。针对现场测量中目标镜的低频振动或缓慢漂移,根据光频连续正反向扫描测量值漂移误差放大项大小近似相等、符号相反的特性,提出了一种光频连续正反向快速扫描的漂移误差补偿方法,并进行了频率扫描干涉仪漂移误差补偿实验,分析对比补偿前后的实验结果,验证了该方法的可行性。实验结果表明,在测量距离约1543.3mm处,目标镜振动频率为4.7Hz,振幅为1μm,采用补偿后,连续40次采样测量的标准差由补偿前的51.9μm下降到8μm。 |
| 关 键 词： | 测量 频率扫描干涉仪 漂移误差 |
| 收稿时间： | 2013/8/1 |
Drift Error Compensation Method of Frequency Sweeping Interferometer by Consecutive Forward and Reverse Optical Frequency Scanning |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | measurement frequency sweeping interferometer drift error |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |