| 应用离子束修正大面形误差光学元件 |
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| 引用本文： | 马占龙,隋永新.应用离子束修正大面形误差光学元件[J].光学学报,2014,34(1):122001. |
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| 作者姓名： | 马占龙 隋永新 |
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| 作者单位： | 马占龙:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130033
隋永新:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130033
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| 基金项目： | 国家科技重大专项项目（2009ZX02205） |
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| 摘 要： | 为了获得超高精度面形的光学元件并验证离子束的修正能力,对应用离子束修正大面形误差光学元件的问题进行了实验研究。通过改变离子源光阑尺寸的方式获得了不同束径的离子束去除函数,并对一直径为101mm、初始面形峰谷(PV)值为417.554nm、均方根(RMS)值为104.743nm的熔石英平面镜进行了离子束修形实验。利用10、5、2mm光阑离子源的组合,进行了12次迭代修形,最终获得了PV值为10.843nm、RMS值为0.872nm的超高精度表面。实验结果表明,应用离子束可以对大面形误差光学元件进行修正,并且利用更大和更小束径离子束去除函数的组合进行优化,可以进一步提升加工效率和精度。
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| 关 键 词： | 光学制造 离子束 面形修正 去除函数 |
| 收稿时间： | 2013/1/5 |
Large Optical Surface Error Figuring by Ion Beam |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical fabrication ion beam surface figuring removal function |
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