国外离子注入设备发展近况

作者为我国出席第四届离子注入国际会议代表团成员。本文扼要叙述了从会议和参观所了解到国外离子注入设备的发展近况,这些设备在能量范围、物理设计以及总体结构等方面的特点,最后介绍了两台典型设备的性能和结构。