圆片处理系统

随着微电子学应用的进一步扩大,半导体集成电路的发展趋势必然是VLSI化。一般说来,提高半导体集成电路的集成度,应开展象图1那样的图形微细化。但是,要实现图形微细化必需克服种种困难。其中最重要的是,正确地形成微细图形和提高检测成品率。