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| 成都光电所“表面等离子体超衍射光学光刻基础研究”通过省科技厅成果鉴定 | |
| 摘 要： | 据成都光电所网站报道,最近,中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室承担的项目"表面等离子体超衍射光学光刻基础研究"顺利通过四川省科学技术厅组织的成果鉴定。 |
| 关 键 词： | 超衍射 光刻分辨力 衍射极限 光学光刻 表面等离子体 基础研究 成果鉴定 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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