| CVD TiC—TiN多层涂层与TiC及TiN单层涂层摩擦学性能的比较 |
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| 引用本文： | 张人佶. CVD TiC—TiN多层涂层与TiC及TiN单层涂层摩擦学性能的比较[J]. 摩擦学学报, 1992, 12(2): 131-143 |
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| 作者姓名： | 张人佶 |
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| 作者单位： | 清华大学机械系，清华大学机械系，北京机械工业学院机械系，北京机械工业学院机械系 北京 100084，北京 100084，北京 100085，北京 100085 |
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| 基金项目： | 清华大学摩擦学国家重点实验室基金 |
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| 摘 要： | 作者住Bernex公司计算机控制的CVD设备上制备了TiC-TiN多层涂层与TiC及TiN单层涂层,利用自制的MT-1型真空摩擦磨损试验机系统地考察了三者的摩擦磨损性能,并对磨痕进行了扫描电镜显微观察和X-射线能谱成分分析。结果表明,无论是在真空中还是在大气中,也无沦是在于摩擦还是在油润滑条件下,TiC—TiN多层涂层均具有较好的摩擦学性能。文章还根据这种涂层所特有的多层磨损机制和过渡层润滑机制,对其良好的摩擦磨损性能进行了解释。
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| 关 键 词： | CVD 磨损 摩擦学 性能 多层涂层 |
Comparison of Tribological Properties in Vacuum Sliding between CVD TiC-TiN Multilayer Coating and TiC, TiN Single Coatings |
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| Zhang Renji Lin Ziwei. Comparison of Tribological Properties in Vacuum Sliding between CVD TiC-TiN Multilayer Coating and TiC, TiN Single Coatings[J]. Tribology, 1992, 12(2): 131-143 |
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| Authors: | Zhang Renji Lin Ziwei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | chemical vapor deposition TiC-TiN multilayer coating multilayer wear vacuum tribological property |
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