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掺铒富硅氧化硅薄膜的光致发光
引用本文:
雷红兵,杨沁清,朱家廉,王红杰,高俊华,王启明.掺铒富硅氧化硅薄膜的光致发光[J].半导体学报,1999,20(1):67-71.
作者姓名:
雷红兵
杨沁清
朱家廉
王红杰
高俊华
王启明
作者单位:
[1]北京集成光电子国家开放实验室 [2]中国科学院半导体研究所
摘 要:
本文研究了富硅氧化硅薄膜掺入铒的发光特性.富硅氧化硅薄膜(氧含量为60%)采用PECVD方法生长,室温下离子注入铒,经过800℃,5min的退火,在10~300K温度下得到较强的波长1.54μm光致发光.发光强度随温度升高而下降,其温度猝灭激活能为14.3meV.发光谱表明富硅氧化硅中Er-O发光中心仍具有Td对称性.
关 键 词:
光致发光
富硅氧化硅薄膜
掺杂
铒
氧化硅薄膜
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