| 铌酸锂晶体波导散斑温度传感器的研究 |
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| 引用本文： | 朱松河,武鹏飞,刘洪亮. 铌酸锂晶体波导散斑温度传感器的研究[J]. 半导体光电, 2018, 39(4): 469-472 |
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| 作者姓名： | 朱松河 武鹏飞 刘洪亮 |
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| 作者单位： | 南开大学电子信息与光学工程学院现代光学研究所,天津,300350;南开大学电子信息与光学工程学院现代光学研究所,天津,300350;南开大学电子信息与光学工程学院现代光学研究所,天津,300350 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;天津市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用飞秒激光直写技术在铌酸锂晶体中写入圆柱形包层光波导,利用激光在波导中传输所产生的散斑,基于平均散斑强度变化算法实现了对外界温度的传感,并验证了波导芯径对传感灵敏度的影响。实验证明,该传感器对温度的传感精度可达0.05℃,其动态范围可达20℃,且芯径为60μm的光波导较30μm光波导的传感灵敏度更高。该方案凭借晶体波导几何尺寸的特征,有效减小了传感系统的体积,并进一步拓展了晶体波导在集成光学系统中的应用。
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| 关 键 词： | 飞秒激光 铌酸锂晶体 光波导 散斑 温度传感器 |
| 收稿时间： | 2018-03-05 |
Study on Speckle Temperature Sensor With Lithium Niobate Crystal Waveguide |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | femtosecond laser lithium niobate crystal optical waveguide specklegram temperature sensor |
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