| 体声波谐振器热行为仿真 |
| |
| 引用本文： | 韩超,高杨,张大鹏.体声波谐振器热行为仿真[J].压电与声光,2018,40(4):507-510. |
| |
| 作者姓名： | 韩超 高杨 张大鹏 |
| |
| 作者单位： | (1.西南科技大学 信息工程学院，四川 绵阳 621010；2.中国工程物理研究院 电子工程研究所，四川 绵阳 621999；
3.中国科学院 高能物理研究所 核探测与核电子学国家重点实验室，北京 100049) |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61574131)；中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2014ZA001)；核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金资助项目(2016KF 02) |
| |
| 摘 要： | 为了预测体声波谐振器(BAWR)的热行为并评估其功率容量，提出一种BAWR热行为仿真方法。首先提取BAWR电磁模型中的导体表面损耗，并以此作为热仿真的热源，得到谐振器的温度分布。然后就信号馈送边、有源区形状、功率容量这3方面进行了研究。仿真结果表明，为了减弱BAWR的自热效应，信号馈送宜遵循“长边馈入、长边馈出”原则；有源区形状对自热效应影响甚小；所设计的BAWR功率容量可达3 W。
|
| 关 键 词： | 体声波谐振器 自热效应 信号馈送边 功率容量 有源区形状 |
Thermal Behavior Simulation of Bulk Acoustic Wave Resonator |
| |
| HAN Chao,GAO Yang,ZHANG Dapeng.Thermal Behavior Simulation of Bulk Acoustic Wave Resonator[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2018,40(4):507-510. |
| |
| Authors: | HAN Chao GAO Yang ZHANG Dapeng |
| |
| Institution: | (1.School of Information Engineering, Southwest University of Science and Technology,Mianyang 621010,China;
2.Institute of Electronic Engineering, CAEP,Mianyang 621999,China; 3.State Key Laboratory of Particle Detection
and Electronics, Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | bulk acoustic wave resonator(BAWR) self heating effect signal feeding edge power handling capacity active area shape |
|
| 点击此处可从《压电与声光》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《压电与声光》下载免费的PDF全文 |
