| 单片集成的压阻式加速度计设计及加工 |
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| 引用本文： | 何昱蓉,何常德,张文栋,宋金龙.单片集成的压阻式加速度计设计及加工[J].压电与声光,2018,40(2):304-308. |
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| 作者姓名： | 何昱蓉 何常德 张文栋 宋金龙 |
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| 作者单位： | （中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西 太原 030051） |
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| 基金项目： | 国家杰出青年科学基金资助项目（61525107） |
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| 摘 要： | 针对现实环境下加速度方向多维测试的需求,提出了一种"四边八梁"的MEMS低加速度g(g=9.8m/s2)值压阻式三轴加速度传感器。根据其工作原理进行结构设计,并通过ANSYS与Matlab软件分析、优化结构参数。设计工艺流程并进行离子注入、ICP干法刻蚀及深硅刻蚀等关键工艺加工,最终实现传感器器件加工及封装。利用精密离心机测得传感器3个轴向的的灵敏度分别为44.35μV/g、49.52μV/g、232.89μV/g,验证了设计方案可行性。
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| 关 键 词： | 三轴加速度传感器 压阻效应 微机电系统(MEMS) 离子注入 深硅刻蚀 |
Design and Processing of Monolithic Integrated Piezoresistive Accelerometer |
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| HE Yurong,HE Changde,ZHANG Wendong,SONG Jinlong.Design and Processing of Monolithic Integrated Piezoresistive Accelerometer[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2018,40(2):304-308. |
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| Authors: | HE Yurong HE Changde ZHANG Wendong SONG Jinlong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | triaxial accelerometer piezoresistive effect microelectromechanical systems(MEMS) ion implantation deep silicon etching |
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