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| IETS谱作为真空镀膜系统清洁度的检测手段 | |
| 引用本文： | 钱永嘉.IETS谱作为真空镀膜系统清洁度的检测手段[J].低温物理学报,1985(4). |
| 作者姓名： | 钱永嘉 |
| 作者单位： | 复旦大学物理系、现代物理研究所 上海 |
| 摘 要： | 本文通过未掺杂质Al-Al_2O_3-Pb隧道结的IETS谱测量以及机工泵油和扩散泵油的红外吸收光谱测量及其它们的结果作相互比较表明,在普通油扩散泵高真空镀膜系统中,样品表面的主要污染来源于泵油. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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