| 超导Josephson隧道结的制备工艺及性能改善 |
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| 引用本文： | 翟计全,常俊杰,许伟伟,朱冉,吉争鸣,陈健. 超导Josephson隧道结的制备工艺及性能改善[J]. 低温物理学报, 2012, 0(5): 333-336 |
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| 作者姓名： | 翟计全 常俊杰 许伟伟 朱冉 吉争鸣 陈健 |
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| 作者单位： | 南京大学超导电子研究所 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:61027008);国家重点基础研究发展计划(批准号:2011CBA00107、2011CBA00202)资助课题~~ |
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| 摘 要： | 超导Josephson隧道结是实现超导量子比特的基本元件.本文介绍了一种利用电子束曝光技术和电子束斜蒸发技术相结合的方法来制备铝超导Josephson隧道结.这种方法工艺简单,通过一次光刻就可完成;而且可以通过调节下层光刻胶厚度、斜蒸发角度、悬空桥区宽度等参数可以有效地控制隧道结的面积大小;此外,本方法通过采用不对称电极结构有效地改善了隧道结的漏电流特性,满足了制备超导量子比特的要求.
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| 关 键 词： | Al/Al2O3/Al隧道结 双层光刻胶 悬空掩膜结构 斜蒸发 |
SUPERCONDUCTING JOSEPHSON TUNNEL JUNCTION FABRICATION PROCESS AND PERFORMANCE IMPROVEMENT |
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| ZHAI Ji-quan,CHANG Jun-jie,XU Wei-wei,ZHU Ran,JI Zheng-ming,CHEN Jian. SUPERCONDUCTING JOSEPHSON TUNNEL JUNCTION FABRICATION PROCESS AND PERFORMANCE IMPROVEMENT[J]. Chinese Journal of Low Temperature Physics, 2012, 0(5): 333-336 |
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| Authors: | ZHAI Ji-quan CHANG Jun-jie XU Wei-wei ZHU Ran JI Zheng-ming CHEN Jian |
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| Affiliation: | Research Institute of Superconductor Electronics,Nanjing University,Nanjing 210093 |
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