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原子氢刻蚀Si衬底产生的微蚀坑地金刚石成核的阻止效应

引用本文：	杨国伟,毛友德.原子氢刻蚀Si衬底产生的微蚀坑地金刚石成核的阻止效应[J].人工晶体学报,1994,23(3):215-218.

作者姓名：	杨国伟毛友德

摘要：
关键词：	成核金刚石薄膜硅衬底刻蚀
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