| 可调波长半导体激光法布里-珀罗干涉仪 |
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| 引用本文： | 马骥驰,李岩,孙文科,许婕.可调波长半导体激光法布里-珀罗干涉仪[J].光学学报,2008,28(7):1296-1300. |
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| 作者姓名： | 马骥驰 李岩 孙文科 许婕 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084
2. 中国计量科学研究院,北京,100013 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(50410479,50575116)资助课题 |
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| 摘 要： | 为了对激光十涉仪、高精度位移传感器等测量系统进行纳米级精度的非线性误差校准,需进一步提高中国计量科学研究院与清华大学合作研制的差拍F-P 干涉仪的线性度、稳定性及测量范围.在合理分析空气折射率变化及He-Ne激光器纵模调谐范围等因素对测量的影响基础上,设计并制作了密封干涉光路的真宅系统,并用调谐范围较大的半导体激光器作为工作激光器.实验结果表明,系统在大于1/4波长的行程范围内的线性度有明显的提高,最大非线性误差由8.93 nm减小至1.19 nm.
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| 关 键 词： | 纳米测量 法布里-珀罗(F-P)干涉仪 非线性误差校准 可调谐半导体激光 |
| 收稿时间： | 2007/9/29 |
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