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| 基于超快激光光刻的有源铌酸锂光子集成 | |
| 作者单位： | 华东师范大学物理与电子科学学院极端光机电实验室,上海 200241;华东师范大学纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心,上海 200241;中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室,上海 201800;华东师范大学物理与电子科学学院极端光机电实验室,上海 200241;中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室,上海 201800 |
| 基金项目： | 国家重点研发计划;国家重点研发计划;国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;上海市科技创新行动计划集成电路科技支撑专项项目;上海市青年科技英才扬帆计划 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 集成光学 超快激光加工 铌酸锂 光放大器 光源 稀土掺杂材料 |
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