| 一种基于FIB刻蚀的MEMS陀螺修调方法 |
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| 引用本文： | 刘宇航,周斌,张嵘,张瑞雪. 一种基于FIB刻蚀的MEMS陀螺修调方法[J]. 中国惯性技术学报, 2014, 0(5) |
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| 作者姓名： | 刘宇航 周斌 张嵘 张瑞雪 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学 精密仪器系,北京,100084
2. 中国兵器工业导航与控制技术研究所,北京,100089 |
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| 摘 要： | 受微加工工艺条件限制,MEMS传感器的结构尺寸等参数总是偏离设计值,使其性能水平难以满足高精度应用的要求。为了抑制一种MEMS陀螺敏感结构的加工误差,分析了其主要运动模态的特性以及耦合误差的主要来源,提出了通过FIB刻蚀手段对陀螺十字型梁结构进行修调的方法,并对修调前后陀螺的耦合误差以及误差的温度稳定性进行了分析比较。对陀螺性能的测试结果表明,两种FIB刻蚀方式分别使陀螺零偏误差比修调前降低约35%和72%,而误差的温度稳定性则分别提高了80%和55%,证明修调方法能够抑制陀螺误差、提升陀螺的性能。
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| 关 键 词： | MEMS陀螺 FIB刻蚀 零偏误差 修调 |
A trimming method for MEMS gyroscopes by focused ion beam etching |
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| LIU Yu-hang,Zhou Bin,ZHANG Rong,ZHANG Rui-xue. A trimming method for MEMS gyroscopes by focused ion beam etching[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 2014, 0(5) |
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| Authors: | LIU Yu-hang Zhou Bin ZHANG Rong ZHANG Rui-xue |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS gyroscope focused ion beam etching zero-rate output trimming |
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