|
|||||
|
|
| 背散射技术用于表面微分析 | |
| 引用本文： | 承焕生,汤家镛,徐志伟,杨福家,赵国庆,周筑颖.背散射技术用于表面微分析[J].物理,1980(3). |
| 作者姓名： | 承焕生 汤家镛 徐志伟 杨福家 赵国庆 周筑颖 |
| 作者单位： | 复旦大学 (承焕生，汤家镛，徐志伟，杨福家，赵国庆)，复旦大学(周筑颖) |
| 摘 要： | 引 言 用离子加速器的离子束进行物质分析是近十年发展起来的有效的实验方法.它包括背散射、质子荧光分析和核反应三种方法.这些方法各有特点,互相补充1],背散射用来分析样品表面下组成的变化或着杂质的深度分布特别合适.其主要优点是简便、直观、定量、可靠,对样品无损伤.与其它方法相比,既不需要对样品进行麻烦的剥层处理(例如离子溅射、化学腐蚀或研磨等),也不需霎依赖“标样”.使用l-2兆电子伏的4He离子束分析样品深度可达几千埃(采用质子束可增加分析深度达几个微米),通常深度分辨率可达200埃左右(采用掠角散射,深度分辨率可达20—30… |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |