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| ZnO薄膜的制备及其在传感器方面的应用 | |
| 引用本文： | 刘一声.ZnO薄膜的制备及其在传感器方面的应用[J].压电与声光,1989,11(1):25-35. |
| 作者姓名： | 刘一声 |
| 作者单位： | 四川压电与声光技术研究所 |
| 摘 要： | 本文主要叙述采用RF反应离子镀、RF反应溅射、MOCVD和激光辅助蒸发等方法制备高度取向的ZnO薄膜。文章还介绍了ZnO薄膜在热电红外传感器、集成化学反应传感器、紫外光探测器,集成加速度计传感器和湿度传感器等方面的应用。 |
| 关 键 词： | ZnO薄膜 传感器 制备 氧化锌 |
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