硅异质结太阳能电池工艺优化

硅异质结太阳能电池的制作过程中,所有工艺步骤都会影响其性能.通过扫描电镜、反射率、量子效率及少子寿命测试,逐步优化硅异质结太阳能电池的性能.结果表明,单晶硅片钝化的最佳锥体尺寸约为6～9μm.利用高质量的本征氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜钝化硅片,获得了超过5 ms的少数载流子寿命.采用大带隙p型a-SiCx:H薄膜替...