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| 冷等离子体表面改性设备的研制 | |
| 引用本文： | 胡建芳,郭淑静.冷等离子体表面改性设备的研制[J].物理,1992,21(10):614-618. |
| 作者姓名： | 胡建芳 郭淑静 |
| 作者单位： | 中央民族学院物理系，中央民族学院物理系，中央民族学院物理系，中央民族学院物理系，中央民族学院物理系 北京 100081，北京 100081，北京 100081，北京 100081，北京 100081 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目． |
| 摘 要： | 本文介绍了一个新的冷等离子体表面改性设备，它集辉光放电和电晕放电于一体，可根据研究工作需要，采用不同的放电形式和工作气体，可满足材料表面改性的机理性研究和小批量产品开发的需要，实验结果表明，该设备结构合理，性能可靠． |
| 关 键 词： | 冷等离子体 表面变性 设备 |
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