| 梯度煅烧对PZT铁电薄膜表面形貌的影响 |
| |
| 引用本文： | 郝俊杰 李龙土 徐廷献. 梯度煅烧对PZT铁电薄膜表面形貌的影响[J]. 压电与声光, 2005, 27(5): 526-528 |
| |
| 作者姓名： | 郝俊杰 李龙土 徐廷献 |
| |
| 作者单位： | [1]北京科技大学材料科学与工程学院,北京100083 [2]清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084 [3]天津大学材料科学与工程学院,天津300072 |
| |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展“九七三”计划资助项目（2002CB613301）;北京科技大学校基金资助项目 |
| |
| 摘 要： | 研究了通过梯度煅烧制度改善薄膜开裂同题的方法和机理。实验在Al2O3基片上采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）法制备了PZT铁电薄膜，发现薄膜的开裂程度随预烧制度的不同而存在明显的差别。结果表明，通过选择薄膜的预烧温度，使各个薄膜层的预烧温度呈梯度分布，可减小薄膜中的应力，从而改善薄膜的开裂情况。
|
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 薄膜 梯度烧成 PZT |
| 文章编号： | 1004-2474(2005)05-0526-03 |
| 收稿时间： | 2003-11-14 |
| 修稿时间： | 2003-11-14 |
Influence of Gradient Firing on the Microstructure of PZT Ferroelectric Thin Film |
| |
| HAO Jun-jie, LI Long-tu, XU Ting-xian (. School of Material Science. Influence of Gradient Firing on the Microstructure of PZT Ferroelectric Thin Film[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2005, 27(5): 526-528 |
| |
| Authors: | HAO Jun-jie LI Long-tu XU Ting-xian (. School of Material Science |
| |
| Affiliation: | HAO Jun-jie, LI Long-tu, XU Ting-xian (1. School of Material Science |
| |
| Abstract: | In this paper, the new method and mechanism of gradient firing was studied for improving the microstructure of thin film. PZT thin film was prepared by Sol-Gel method on Al2O3 substrate. The resuh shows that the cracks are changing in films prepared by different firing method. By gradient firing, the stress is reduced in the thin film, and the microstructure of PZT film is improving largely. |
| |
| Keywords: | Sol-Gel thin film gradient firing PZT |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
