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| 用原子力显微镜4π旋转技术测量靶丸表面粗糙度 | |
| 引用本文： | 高党忠, 王明达, 刘元琼. 用原子力显微镜4π旋转技术测量靶丸表面粗糙度[J]. 强激光与粒子束, 1999, 11(03). |
| 作者姓名： | 高党忠 王明达 刘元琼 |
| 作者单位： | 1.中国工程物理研究院核物理与化学研究所, 成都525信箱79分箱, 61 0003 |
| 摘 要： | 原子力显微镜靶丸4π旋转装置，可以将靶丸在夹持状态下实现4π方向旋转，便于原子力显微镜对靶丸表面任一部分做扫描测量。应用该装置对各种靶丸的表面形貌进行了测量，测量结果表明，靶丸外表面粗糙度小于10nm，内表面粗糙度小于20nm。 |
| 关 键 词： | 原子力显微镜 靶丸4π旋转测量装置 ICF靶参数测量 |
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