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| 柔性变焦镜的理论计算和设计 | |
| 引用本文： | 陆肖元, 张耀宁, 程祖海. 柔性变焦镜的理论计算和设计[J]. 强激光与粒子束, 1999, 11(02). |
| 作者姓名： | 陆肖元 张耀宁 程祖海 |
| 作者单位： | 1.华科理工大学激光技术国家重点实验室, 武汉 430074 |
| 摘 要： | 设计了由压电陶瓷施压的柔性变焦镜的结构。根据弹性力学建立了相应的数学模型，采用有限元法计算了镜面受力的挠变形值。当柔性变焦镜最大挠度为9μm时，镜面的曲率半径从610mm变至590mm，此时采用环形筋条结构的反射镜镜面和理想球面的面形偏差PV值仅为1μm，面形相对偏差为0.3%。 |
| 关 键 词： | 柔性变焦镜 压电陶瓷 限元法 面形偏差 |
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