| LaFeO3纳米晶薄膜及其气敏特性的研究 |
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| 引用本文： | 赵善麒,才宏,彭作岩,赵纯,徐宝琨,赵慕愚,邢建力. LaFeO3纳米晶薄膜及其气敏特性的研究[J]. 无机化学学报, 1994, 10(4): 409-412 |
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| 作者姓名： | 赵善麒 才宏 彭作岩 赵纯 徐宝琨 赵慕愚 邢建力 |
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| 基金项目： | 高等学校博士学科点专项科研基金;集成光电子学国家重点联合实验室资助 |
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| 摘 要： | 本文采用溶胶-凝胶方法,经过550℃、1小时的固相反应,得到粒径为40～45nm,均匀性良好的LaFeO3纳米晶薄膜。将这一成膜技术与集成电路平面工艺相结合,首次研制出了NCF-OSFET气敏元件,它对乙醇具有较高的灵敏度和良好的选择性。
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| 关 键 词： | 氧化铁镧 纳米晶薄膜 气敏元件 气敏特性 |
| 收稿时间： | 1993-12-29 |
STUDY ON LaFeO3 NANOCRYSTALLINE THIN FILMS AND ITS GAS-SENSITVE PROPERTIES |
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| Zhao Shanqi,Cai Hong,Peng Zuoyan,Zhao Chun,Xu Baokun,Zhao Muyu and Xing Jianli. STUDY ON LaFeO3 NANOCRYSTALLINE THIN FILMS AND ITS GAS-SENSITVE PROPERTIES[J]. Chinese Journal of Inorganic Chemistry, 1994, 10(4): 409-412 |
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| Authors: | Zhao Shanqi Cai Hong Peng Zuoyan Zhao Chun Xu Baokun Zhao Muyu Xing Jianli |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | lanthanum ferrite sol-gel method nanocrystalline film MOS field effect translator gas sensor |
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