| 微/纳米级微电子机械系统制造新技术 |
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| 引用本文： | 王振宇,成立,祝俊.微/纳米级微电子机械系统制造新技术[J].半导体技术,2005,30(8):27-33. |
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| 作者姓名： | 王振宇 成立 祝俊 |
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| 作者单位： | 江苏大学应用科学技术学院,江苏,镇江,212013;江苏大学电气信息工程学院,江苏,镇江,212013 |
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| 基金项目： | 江苏省高校自然科学基金 |
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| 摘 要： | 论述了微电子机械制造中的主要技术,包括表面微细加工、体微细加工、光刻-电铸-注塑(LIGA)、硅直接键合技术等,并讨论了这些新技术在MEMS产品中的应用前景.
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 微机械 制造技术 微细加工 |
| 文章编号： | 1003-353X(2005)08-0027-07 |
| 修稿时间： | 2005年5月16日 |
Manufacturing Technologies for MEMS at Micro/Nanometer Level |
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| WANG Zhen-yu,CHENG Li,ZHU Jun.Manufacturing Technologies for MEMS at Micro/Nanometer Level[J].Semiconductor Technology,2005,30(8):27-33. |
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| Authors: | WANG Zhen-yu CHENG Li ZHU Jun |
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| Abstract: | Some new technologies of micro-mechanism manufacture are discussed, such as microfabrication technology for surface/bulk, LIGA and silicon direct bonding technologies and so on. Besides, the application foreground in MEMS products using these new technologies is also expounded. |
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| Keywords: | MEMS micromachine manufacturing technologies microfabrication technology |
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