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| 半导体生产测量设备的匹配 | |
| 引用本文： | 杨斯元,简维廷.半导体生产测量设备的匹配[J].集成电路应用,2007(11):59-60. |
| 作者姓名： | 杨斯元 简维廷 |
| 作者单位： | [1]品质及可靠度中心 [2]中芯国际 |
| 摘 要： | 半导体集成电路生产涉及的工艺非常广泛、复杂。在线实时测量线上工艺品质指标是半导体集成电路生产的一个重要方面。测量机台的种类繁多，而且，通常同一类的机台数量也很多，尤其是在一个具有多条生产线的大厂（Virtual Fab，One Mega Fab，Uni-Fab）。 |
| 关 键 词： | 半导体生产 测量设备 集成电路生产 匹配 品质指标 在线实时 Mega Fab |
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