| 十字交叉型压电陶瓷致动器的制备方法及性能研究 |
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| 引用本文： | 刘相果,蹇胜勇,刘光聪.十字交叉型压电陶瓷致动器的制备方法及性能研究[J].压电与声光,2011,33(6):958-960. |
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| 作者姓名： | 刘相果 蹇胜勇 刘光聪 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第26研究所,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 该文主要设计了一种适应高频响应、高压电性能、低电容的压电陶瓷致动器,并研究了工艺参数对性能的影响.结果表明,6.4 mm×6.4 mm×64 mm(厚度0.5 mm)的十字交叉型压电陶瓷致动器具有滞后性、回零性、对称性好的特点,其电容为27.3 nF,200 V位移约为8μm；富氧去应力退火可降低材料的微缺陷组织,减少...
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| 关 键 词： | 压电陶瓷 致动器 十字交叉型 富氧退火 |
Study on Preparing Method and Performances of Piezoelectric Ceramics Actuators with Square Crossing Shape |
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| LIU Xiangguo
,
JIAN Shengyong
,
LIU Guangcong.Study on Preparing Method and Performances of Piezoelectric Ceramics Actuators with Square Crossing Shape[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2011,33(6):958-960. |
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| Authors: | LIU Xiangguo JIAN Shengyong LIU Guangcong |
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| Institution: | LIU Xiangguo,JIAN Shengyong,LIU Guangcong(26th Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Chongqing 400060,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric ceramics actuators square crossing shape annealing with abundant oxygen |
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