| 离子束溅射镀膜技术研究 |
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| 引用本文： | 孙雨南,崔芳.离子束溅射镀膜技术研究[J].光学技术,1992(6). |
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| 作者姓名： | 孙雨南 崔芳 |
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| 作者单位： | 北京理工大学工程光学系 100081
(孙雨南)，北京理工大学工程光学系 100081(崔芳) |
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| 摘 要： | 本文介绍了离子束溅射镀膜原理,对淀积束率与离子能量、束流密度的关系进行了实验研究。实验结果与理论分析有较好的一致性。
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A study on ion beam sputtering coating techniqe |
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| Abstract: | In this paper, the principles of ion beam sputtering coating are discused. The experimental results on the relationship between the deposition rate and the ion energy and the dencity of ion beam current are reported, which are consistent with the theoritical analyses. |
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