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化学汽相淀积与半导体发光材料的研制
引用本文:
孟广耀.化学汽相淀积与半导体发光材料的研制[J].发光学报,1978(6).
作者姓名:
孟广耀
作者单位:
中国科技大学
摘 要:
采用化学汽相淀积(Chemical Vepor Deposition缩写为(CVD)制取具有特定物理性能的无机材料或对物质进行纯化是无机合成化学的一个崭新领域,其有关化学原理和技艺在现代科学技术中得到了日益广泛的应用。
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