| 电子扫描深能级瞬态谱(SDLTS)测量系统及其应用 |
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| 引用本文： | 李成基,李韫言.电子扫描深能级瞬态谱(SDLTS)测量系统及其应用[J].分析测试技术与仪器,1995(2):1-6. |
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| 作者姓名： | 李成基 李韫言 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 |
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| 基金项目： | 中国科学院原技术条件局大型仪器功能开发基金 |
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| 摘 要： | 本文报导了在ＪＸＡ—３Ａ电子探针上，研制了电子束感生电流装置、电子束消隐装置、可微动低温样品台以及超慢速电子来扫描装置，配置Ｂｏｘｃａｒ平均器。成功地开发了电子束扫描深能级瞬态谱测量系统，它的温度范围为８０—４５０Ｋ，空间分辨率约１０μｍ，测量稳定度为１．５％。对ＧａＡｓ和Ｓｉ中的深能级及其空间分布进行了测量，并与其结构缺陷进行了对比研究。
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| 关 键 词： | 深能级，低温样品架，电子束感生电流 |
| 收稿时间： | 1/4/1995 12:00:00 AM |
| 修稿时间： | 1995/6/12 0:00:00 |
Electron Scanning Deep-level Transient Spectroscope (SDLTS) System and Its Applications |
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| Li Chengji and Li Yunyan.Electron Scanning Deep-level Transient Spectroscope (SDLTS) System and Its Applications[J].Analysis and Testing Technology and Instruments,1995(2):1-6. |
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| Authors: | Li Chengji and Li Yunyan |
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| Institution: | Institute of Semiconductors, Chinese Aecdemy of Sciences Beijing 100083;Institute of Semiconductors, Chinese Aecdemy of Sciences Beijing 100083 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Deep-levels low-tempereture sample holder electron beam induced current |
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