| (112)B碲锌镉衬底表面Everson腐蚀坑与材料缺陷的关系 |
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| 引用本文： | 周昌鹤,杨建荣,周梅华,徐超.(112)B碲锌镉衬底表面Everson腐蚀坑与材料缺陷的关系[J].红外与毫米波学报,2021,40(4):432-438. |
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| 作者姓名： | 周昌鹤 杨建荣 周梅华 徐超 |
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| 作者单位： | 中国科学院大学,北京 100049;中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083;中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083 |
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| 基金项目： | 中国科学院上海技术物理研究所创新专项（CX-299） |
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| 摘 要： | 通过研究碲锌镉衬底(112)B面缺陷腐蚀坑和(111)B面缺陷腐蚀坑之间的关系,揭示了(112)B面腐蚀坑与材料缺陷之间的关系。结果显示,Everson腐蚀剂在碲锌镉材料(112)B面上揭示的棒状腐蚀坑起源于材料中的体缺陷,或由延伸缺陷腐蚀坑在缺陷终止后演变而成,三种典型形状的锥形腐蚀坑分别来自延伸方向为110、112和123的延伸缺陷。研究结果同时显示,Everson腐蚀剂对部分取向的延伸缺陷所形成的腐蚀习性面在(112)B表面不能构成锥形腐蚀坑,通过观察(112)B面锥形坑随腐蚀深度发生横向移动的方向,进一步证实Everson腐蚀剂只能揭示延伸方向位于(112)极图上011]和101]连线附近区域的延伸缺陷。基于上述实验结果,文章进一步讨论了(112)B面Everson腐蚀坑密度与材料缺陷密度的关系,其结果将有助于碲镉汞分子束外延识别源自衬底的材料缺陷,并对碲锌镉(112)B衬底的质量进行更好的控制。
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| 关 键 词： | 碲锌镉 腐蚀坑 体缺陷 延伸缺陷 |
| 收稿时间： | 2020/8/15 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/8/8 0:00:00 |
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