双相复合生长大直径(Ф40)碲镉汞晶体 |
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引用本文: | 刘克岳,王金义.双相复合生长大直径(Ф40)碲镉汞晶体[J].半导体杂志,1998(3). |
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作者姓名: | 刘克岳 王金义 |
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作者单位: | 华光光电技术研究所 |
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摘 要: | 介绍了一种新的碲镉汞晶体生长方法(即双相复合生长法),阐述了该方法的生长机理和生长过程;分析了生长过程中影响晶体生长的因素;总结了该方法晶体生长的特点,并提出了晶体生长过程中存在的问题和改善措施;通过采取低温生长、低温梯度下慢速生长、生长后慢速冷却和适当的晶片退火等措施,获得了大直径(Ф40mm)、大单晶面积(4~10cm2)、径向组分均匀(x≤±0.003)、光电性能良好(77K:ni≤5×1014cm-3、μi≥1.5×10scm2/V.s、≥2μs;300K:0.9mm厚的晶片透过率T≥15%)的碲镉汞晶体。
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关 键 词: | 碲镉汞,晶体生长,双相复合,垂直结晶 |
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