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| 检漏工程中的新型检漏方法--负压采样法 | |
| 引用本文： | 曹辉玲.检漏工程中的新型检漏方法--负压采样法[J].真空电子技术,2003(3):84-88. |
| 作者姓名： | 曹辉玲 |
| 作者单位： | 北京真空电子技术研究所,北京,100016 |
| 摘 要： | 通过新旧检漏方法的对比，阐述了一种新型检漏方法负压采样法，它既非正压法又非负压法。此法已在工业发展中解决了实用检漏技术的难题。 |
| 关 键 词： | 检漏工程 负压采样法 负压采样法 常规检漏方法 应用 |
| 文章编号： | 1002-8935(2003)03-0084-05 |
| 修稿时间： | 2003年6月14日 |
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