摘 要: | TH742.6 2006032725非共轴掠入射X射线显微镜参数的误差分析=Error anal-ysis on the parameters of non-coaxial grazing X-ray micro-scope[刊,中]/赵玲玲(大连理工大学电子与信息工程学院.辽宁,大连(116024)) ,胡家升…∥光学精密工程.—2006 ,14(1) .—34-42设计了一套由4个反射镜组成的非共轴掠入射X射线显微镜,分析了该系统的像差和成像质量。为了研制出高质量的设备,需要制定合理的加工和装配公差。研究了由于元件和结构参数(反射镜的半径,物距,掠入射角等)的误差而引起的高斯参数和像差的变化。首次用点列图和调制传递函数来定量…
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