| 制备工艺对P型ZnO薄膜微观结构和电学特性的影响 |
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| 引用本文： | 丁瑞钦,陈毅湛,朱慧群,黎扬钢,丁晓贵,杨柳,黄鑫钿,齐德备,谭军.制备工艺对P型ZnO薄膜微观结构和电学特性的影响[J].人工晶体学报,2008,37(5):1237-1241. |
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| 作者姓名： | 丁瑞钦 陈毅湛 朱慧群 黎扬钢 丁晓贵 杨柳 黄鑫钿 齐德备 谭军 |
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| 作者单位： | 五邑大学薄膜与纳米材料研究所,江门,529020;五邑大学数理系,江门,529020;五邑大学信息学院,江门,529020;五邑大学机电系,江门,529020 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金，广东省江门市科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的P型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究.研究结果表明,ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均与制备工艺条件有密切的关系.文章对这些关系的机理做了探讨和分析.
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 工艺条件 微观结构 电学特性 |
Influences of Preparation Techniques on the Microstructure and Electric Characteristics of p-ZnO Thin Films |
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| DING Rui-qin,CHEN Yi-zhan,ZHU Hui-qun,LI Yang-gang,DING Xiao-gui,YANG Liu,HUANG Xin-dian,QI De-bei,TAN Jun.Influences of Preparation Techniques on the Microstructure and Electric Characteristics of p-ZnO Thin Films[J].Journal of Synthetic Crystals,2008,37(5):1237-1241. |
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| Authors: | DING Rui-qin CHEN Yi-zhan ZHU Hui-qun LI Yang-gang DING Xiao-gui YANG Liu HUANG Xin-dian QI De-bei TAN Jun |
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