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| 等离子体氮钝化GaSb材料表面特性研究 | |
| 引用本文： | 刘晓敏,房丹,谷李斌,方铉,王登魁,唐吉龙,王新伟,王晓华.等离子体氮钝化GaSb材料表面特性研究[J].中国激光,2018(1). |
| 作者姓名： | 刘晓敏 房丹 谷李斌 方铉 王登魁 唐吉龙 王新伟 王晓华 |
| 作者单位： | 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室; |
| 摘 要： | 利用等离子体增强原子层沉积系统,以逐层刻蚀方式对GaSb进行氮(N)钝化处理,研究了钝化过程中刻蚀周期对GaSb钝化效果的影响。研究结果表明,当刻蚀周期数为200时,钝化效果最好;刻蚀周期数不足(100)时,钝化效果最弱;刻蚀周期数较高(300~400)时,随着刻蚀周期数的增大,钝化效果减弱。 |
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