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Investigation of the thermal stability of Mg/Co periodic multilayers for EUV applications
Authors:Hu  M.-H.  Le Guen  K.  André   J.-M.  Zhou  S. K.  Li  H. C.  Zhu  J. T.  Wang  Z. S.  Meny  C.  Mahne  N.  Giglia  A.  Nannarone  S.  Estève  I.  Walls  M.  Jonnard  P.
Affiliation:1.Laboratoire Chimie Physique—Matière Rayonnement, UPMC Univ Paris 06, CNRS UMR 7614, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231, Paris Cedex 05, France
;2.Institute of Precision Optical Engineering, Department of Physics, Tongji University, Shanghai, 200092, P.R. China
;3.Institut de Physique et Chimie des Matériaux de Strasbourg, CNRS UMR 7504, 23 rue du Loess, BP 43, 67034, Strasbourg Cedex 2, France
;4.CNR-IOM Laboratorio TASC, SS 14 km 163,5, 34149, Basovizza, Trieste, Italy
;5.Dipartimento Ingegneria Materiali, Università di Modenae R.E., via Vignolese 905/a, Modena, Italy
;6.Institut de Minéralogie et de Physique des Milieux Condensés, Univ Paris 06 et 07, CNRS UMR 7590, 4 place Jussieu, 75252, Paris Cedex 05, France
;7.Laboratoire de Physiques des Solides, CNRS UMR 8502, Univ Paris Sud, 91405, Orsay, France
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Abstract:Applied Physics A - We present the results of the characterization of Mg/Co periodic multilayers and their thermal stability for the EUV range. The annealing study is performed up to a temperature...
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