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| SEM及AFM校准放大倍率标样的研究 | |
| 引用本文： | 盛克平,丁听生,陆国辉.SEM及AFM校准放大倍率标样的研究[J].电子显微学报,2003,22(5):438-442. |
| 作者姓名： | 盛克平 丁听生 陆国辉 |
| 作者单位： | 上海市计量测试技术研究院,上海,200233 |
| 摘 要： | 本文报告了用有证标准粒子研制成紧密排列的亚微米标准样品，并给出了研制成的标准样品的不确定度评估。将结果与国际先进的标准参考物质进行了分析比较，该亚微米标准粒子的紧密排列的标准样品在扫描电子显微镜和原子力显微镜放大倍率校准中有实际的应用价值。 |
| 关 键 词： | 准粒子 标准样品 排列 标样 原子力显微镜 亚微米 物质 应用价值 参考物 制成 |
| 文章编号： | 1000-6281(2003)05-0438-05 |
Study of magnification calibration specimen for SEM & AFM |
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| Abstract: | |
| Keywords: | reference material uncertainty calibrating magnification close-packed arrays |
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