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(K,Na)NbO_3基无铅压电薄膜的制备与表征(英文)
引用本文:李元行,陈峰,高关胤,徐浩然,吴文彬.(K,Na)NbO_3基无铅压电薄膜的制备与表征(英文)[J].低温物理学报,2015(1):14-18.
作者姓名:李元行  陈峰  高关胤  徐浩然  吴文彬
作者单位:合肥微尺度物质科学国家实验室中国科学技术大学;强磁场实验室中国科学院
基金项目:Project supported by the NSF of China(Grant Nos.11074237,11274287,11204313);the National Basic Research Program of China(Grant Nos.2009CB929502,2012CB927402)~~
摘    要:我们采用脉冲激光沉积法,在SrTiO3(001)衬底上以La0.7Sr0.3MnO3作为底电极,制备得单相的0.95(Na0.49K0.49Li0.02)(Nb0.8Ta0.2)-0.05CaZrO3外延薄膜.采用X射线衍射、X射线光电子能谱,电滞回线和介电常数测试分别表征了LKNNT-CZ薄膜的微观结构、表面元素价态和铁电/介电性能.结果表明:(1)制备得到的LKNNT-CZ薄膜的元素组成与靶材相同;(2)在4伏到10伏内均可以获得线型良好且饱和的电滞回线,当驱动电压为10V时,薄膜的剩余极化达到12.4μC/cm2,矫顽电场为102.3kV/cm;(3)薄膜在1kHz频率下的介电常数高达1185.

关 键 词:无铅压电  铌酸钾钠  外延薄膜  介电性质
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