| Pyrex玻璃凹槽刻蚀及槽底粗糙度研究 |
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| 引用本文： | 江平,侯占强,肖定邦,吴学忠.Pyrex玻璃凹槽刻蚀及槽底粗糙度研究[J].微细加工技术,2007(6):62-64. |
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| 作者姓名： | 江平 侯占强 肖定邦 吴学忠 |
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| 作者单位： | 国防科技大学机电工程与自动化学院,长沙,410073 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50375154) |
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| 摘 要： | 介绍了用于电容式微传感器的玻璃基底加工方法.目前玻璃刻蚀掩膜层的制作工艺复杂,实验中采用机械掩膜方法,较简单地腐蚀出玻璃凹槽,没有脱膜或钻蚀现象.同时对凹槽底面粗糙度进行了研究,并提出了改善方法,得到粗糙度为(Ra=1.5 nm)的玻璃底面,有利于制作平整的电极.
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| 关 键 词： | Pyrex玻璃 湿法腐蚀 微加速度计 机械掩膜 |
| 文章编号： | 1003-8213(2007)06-0062-03 |
| 修稿时间： | 2007年3月29日 |
Research on Etching of Pyrex Glass Grooves and Roughness of Their Bottoms |
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| JIANG Ping,HOU Zhan-qiang,XIAO Ding-bang,WU Xue-zhong.Research on Etching of Pyrex Glass Grooves and Roughness of Their Bottoms[J].Microfabrication Technology,2007(6):62-64. |
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| Authors: | JIANG Ping HOU Zhan-qiang XIAO Ding-bang WU Xue-zhong |
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