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| 三类适用于SEM的高效率CL收集与传输系统 | |
| 引用本文： | 印建平,高伟建.三类适用于SEM的高效率CL收集与传输系统[J].电子显微学报,1993,12(2):191-191. |
| 作者姓名： | 印建平 高伟建 |
| 作者单位： | 苏州大学分析测试中心 苏州215006 |
| 摘 要： | 扫描电镜中的阴极荧光(CL)显微成象及其光谱分析术已日益成为一种研究晶体缺陷、杂质成份、能带结构及各种能级复合发光动力学过程的有效手段。鉴于CL发光强度通常较弱,因而如何设计并研制出高效率的CL收集与传输系统,已成为CL技术发展与应用的关键。典型的CL收集系统有球面镜系统、光学透镜系统、抛物面镜系统和椭球面镜系统等装置型式。本文重点计算了点光源均匀发光模型下大F透镜系统、旋转半椭球面镜系统和半抛物面镜系统的CL收集与传输效率,并设计研制了上述三类高效率CL实验系统。现分别介绍如下: |
| 关 键 词： | STM 阴极荧光 显微成象 光谱分析 |
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