| 离子束溅射法制备非晶态和晶态Ti-Nj贮氢薄膜合金 |
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| 引用本文： | 胡伟康,申泮文,张允什.离子束溅射法制备非晶态和晶态Ti-Nj贮氢薄膜合金[J].高等学校化学学报,1993(2). |
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| 作者姓名： | 胡伟康 申泮文 张允什 |
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| 作者单位： | 南开大学化学系，南开大学化学系，南开大学新能源材料化学研究所 天津 300071，天津 300071 |
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| 摘 要： | 粉末贮氢合金作为一种功能材料在许多领域已有广泛应用。而薄膜贮氢合金是80年代国外新开发的功能材料。目前国外制备薄膜贮氢合金的方法主要有热蒸发法(包括闪蒸)和磁控溅射法。最近我们采用一种新颖的制备方法——离子束溅射法研制非晶态、晶态Ti-Ni薄膜合金。
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| 关 键 词： | 贮氢薄膜 Ti-Ni合金 离子束溅射法 |
The Film Preparation of Amorphous and Crystalline Ti-Ni Hydrogen Storage Alloys by Ion Beam Sputtering |
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| HU Wei-Kang,SHEN Pan-Wen.The Film Preparation of Amorphous and Crystalline Ti-Ni Hydrogen Storage Alloys by Ion Beam Sputtering[J].Chemical Research In Chinese Universities,1993(2). |
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| Authors: | HU Wei-Kang SHEN Pan-Wen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Hydrogen storage film Ti-Ni alloy Ion beam sputtering |
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